屏东地震 台积奇美电清查南科厂损失

更新时间：2012/2/27    |    阅读次数：984次

屏东出现6.1级地震，台南市最高震度达到五级，南科则达四级，半导体与面板产业震程都因为震度超出设计的防护震度、自动当机，奇美电厂区昨（26）日疏散员工。在南科设厂的台积电、联电、奇美电表示，目前正清查制程延误及在制品损失，尚无法判断受影响的程度。 　　 　　南科地震震度已达到机台设备所设定的自动保护装置的震度，厂区内的半导体与面板厂商机台都出现自动断电，厂商在检查相关设备、机台的状况后，陆续恢复生产，估计将影响一定程度的产量。 　　 　　以面板厂商而言，厂务人员指出，昨天的震度不致造成灾损，敏感机台如曝光机、溅镀机等真空设备，若因地震自动启动保护装置关机，重新开机只需花约二小时，即可投入生产。但若地震时造成真空备设内有破片、或是机台的零组件损坏需更换，则要依序完成：降温、处理、升温等作业，至少要花上一天的时间，会有制程延误的损失。 　　 　　奇美电财务长陈彦松指出，地震引发奇美电南科厂部份机台启动保护装置关机，必需重新启动，并未造成太大影响。 　　 　　至于半导体晶圆厂，厂务人员表示，地震若达三级、四级以上，半导体制程设备机台就会自动启动保护装置关机。 　　 　　台积电在南科有二座晶圆厂，台积电处长孙又文表示，地震发生时，南科厂依规定做人员疏散约一小时，返回生产线清查无尘室均未受损。至于生产线上是否有在制晶圆受损尚待进一步评估。 　　 　　联电在南科也有12寸厂，联电财务长刘启东指出，地震没有造成重大影响，但部份敏感机台自动关机，需要重新启动，无法评论损失。 　　 　　竹科管理局副局长兼发言人杜启祥及南科管理局长陈俊伟表示，没有接获任何园区事故通报，竹科及南科的水电供应无损，园区正常运作。 　　 　　至于高雄部分，除了高捷短暂停驶之外，高屏地区各工业区未传灾情。 　　 　　 [来源:经济日报]